| セッションＡ３ MEMS（３） |
| ０９：００〜１０：２０ Ａ会場 |
| 座長 岩岡秀人（横河電機） |
| A3-1 Fabrication of Silica-Based Microfluidic Channels without Bonding Process |
| Chienliu Chang、Takashi Abe、Masayoshi Esashi（東北大学） |
| A3-2 表面エネルギ勾配を利用した微量液滴輸送 |
| 安田 隆（九州工業大学）、鈴木紘一、下山 勲（東京大学） |
| A3-3 SOI-MICSを利用した３軸フォースセンサのピエゾ抵抗素子感度解析 |
| 山田行利、木下好之（丸紅ソリューション）、D. V. Dzung、鳥山寿之、杉山 進（立命館大学）、原田宗生（住友金属工業） |
| A3-4 シームレスインテグレーション技術によるシリコン上へのミリ波フォトニックシステムの作製 |
| 石井 仁、美濃谷直志、永妻忠夫、町田克之（NTTマイクロシステムインテグレーション研究所） |
| 工藤和久、矢野正樹（ＮＴＴアドバンステクノロジ） |