セッションＣ１　　物理センサ（１）
１３：００〜１５：２０　　Ｃ会場
座長　木股雅章（三菱電機）
C1-1　圧電素子を用いた3軸角速度センサの開発
岡田和廣、松 良幸、谷口伸光、板野弘道（ワコー）
C1-2　サファイア容量式圧力センサとその微小容量検出回路
吉川康秀、木村重夫、石倉義之、片岡俊之、添田 将、長田光彦（山武）、増田 誉（群馬産業技術センター）
C1-3　マイクロタクタイルセンサの高感度実現と卵細胞のヤング率測定への応用
村山嘉延、尾股定夫（日本大学）
C1-4　分極相補型電極による圧電型超音波センサの高感度化
Chansomphou Latapasamixay、村上英之、山下 馨、奥山雅則（大阪大学）
C1-5　Measurement of Loads Acting on a Near-Wall Particle in Turbulent Water Flow by Using a 6-DOF MEMS-Based Sensor
A. T. Nguyen、D. V. Dao、M. Takahashi、T. Toriyama、J. C.Wells、S. Sugiyama（立命館大学）
C1-6　アモルファスシリコン薄膜を用いた蓄積動作におけるアバランシェ増倍特性評価
秋山正弘、花田昌樹、高尾英邦、澤田和明、石田 誠（豊橋技術科学大学）
C1-7　SOQ基板を用いた投影型マイクロエンコーダの集積化
鎌田竜二、金森義明、佐々木 実、羽根一博（東北大学）、見田村宗雄、伊藤善規（ハーモニック・ドライブ・システムズ）