D413-A3 マイクロマシン・センサシステム MEMS基盤技術
3月17日 午後 第D413会場
3-119- レジストスプレーコーティングの成膜特性
- ○Vijay Kumar Singh・佐々木 実・羽根一博（東北大学）
3-120- パターン移植による微細金属パターン作製
- ○川田博昭・上野剛人・安田雅昭・平井義彦（大阪府立大学）
3-121- マイクロ電鋳法における電鋳条件の最適化
- ◎浮田芳昭（姫路工業大学）・出井一義（中西金属工業）・中郷直樹（イケックス工業）・服部 正（姫路工業大学）
3-122- LIGAプロセスによる円筒型マイクロコイルの試作と評価
- ◎浅野豪文・銘苅春隆（姫路工業大学）・久住真治（進工業）・佐藤憲昭（樹研工業）・山下 満（兵庫県立工業技術センター）・嶋田 修（進工業）・服部 正（姫路工業大学）
3-123- マイクロフォーカスX線検査装置用格子状位置表示器の開発
- ◎安井 学（神奈川県産業技術総合研究所）・佐々木洋明（ナガセ電子機器サービス）・平林康男（神奈川県産業技術総合研究所）・和久田昌則（ナガセ電子機器サービス）
3-124- 3次元駆動ステージによるマイクロデバイスの試作
- ◎瀬戸本 豊・植田寛康・服部 正（姫路工業大学）
3-125- MEMS技術を用いた微細針の製作
- ◎望月浩晃・瀧口欣司・服部 正（姫路工業大学）
3-126- 梁の湾曲を利用した縦型櫛歯アクチュエータ
- ◎佐々木 実（東北大学）・Danick Briand・Noell Wilfried・F. de Rooij Nicolaas（ヌシャテル大学）・羽根一博（東北大学）
3-127- ポリマーアクチュエータ材料のマックスウェル応力-歪み特性評価
- ◎佐藤雅代・小迫雅裕・田中祀捷（早稲田大学）
D413-A4 マイクロマシン・センサシステム MEMS応用デバイス・システム
3月17日 午後 第D413会場
3-128- 新しい垂直構造体の試作 -プレート引き起こし〜プレート角度制御-
- ○小西 浩・石津谷 徹・鈴木純児・大内泰司・赤川圭一・鈴木美彦（ニコン）
3-129- 誘電分極型静電モータの空気ファンへの応用
- ◎寺崎智紀・太田善規・笠井利幸・中村匡志（信州大学）
3-130- PZT圧電薄膜を用いたMEMSスイッチの研究
- ◎遠藤広宣・神野伊策（京都大学）・寒川 潮（松下電器産業）・小寺秀俊（京都大学）
3-131- マイクロバルブ集積回路の設計手法とその検証
- ◎高尾英邦・澤田和明・石田 誠（豊橋技術科学大学）
3-132- 長周期ファイバグレーティングを用いた透過型可変波長フィルタ
- ○熊崎裕教・稲葉成基（岐阜工業高等専門学校）・原田健司（東レ）・羽根一博（東北大学）
3-133- EWODにより形成される濡れ性勾配表面での液滴輸送
- 平瀬圭祐・○安田 隆（九州工業大学）
3-134- 咀嚼動作を模倣した食感評価音響センサシステム
- ○王 霜・小野順貴・安藤 繁（東京大学）
3-135- 音源位置情報を利用した音源分離の理論と実験
- ◎齋藤章人・小野順貴・安藤 繁（東京大学）
D413-B1 フィジカルセンサ フィジカルセンサ（I）
3月18日 午前 第D413会場
3-136- SOIウェハを用いた多軸モーションセンサの基本特性
- ○渡部善幸・峯田 貴・三井俊明（山形県工業技術センター）・岡田和廣・板野弘道・松 良幸（ワコー）
3-137- 容器外装着超音波センサを用いた変圧器容器内油中の水検出システム
- ◎時任賢一・信太克規（佐賀大学）
3-138- 物質温度変化特性を利用したリファレンスレスセンサシステム
- ◎古賀礼二・信太克規（佐賀大学）
3-139- 柔らかな静電容量型接触センサによる物体識別の試み
- ◎山浦佑樹・信太克規（佐賀大学）
3-140- 時間相関イメージセンサを用いた実時間振動分布計測法
- ◎永井洋平・栗原 徹・清水崇聡・小野順貴・安藤 繁（東京大学）
3-141- CsBr:Eu輝尽性蛍光体の輝尽発光特性の評価
- ○倉田順弘・上條圭一・更井 発・久保田直義・竹井義法・南戸秀仁（金沢工業大学）
D413-B2 フィジカルセンサ フィジカルセンサ（II）・一般
3月18日 午前 第D413会場
3-142- 新型磁気トランジスタの提案
- ◎高橋 伸・木村光照（東北学院大学）
3-143- 磁性流体を用いた水平・傾斜角センサの特性に関する研究
- ◎小林弘幸・金丸保典（金沢工業大学）
3-144- 新型気体センシングデバイスとその応用
- ◎木村光照・菊地和也（東北学院大学）
3-145- ドライエッチングを用いたバイコンベックス型水晶振動子マイクロバランスの製作
- ◎安部 隆・李 麗・江刺正喜（東北大学）
3-146- 水の電気分解用コードレス光電池の改良
- ○富澤博人・木村光照（東北学院大学）・杉浦弘人（ラサ工業）
D413-C3 ケミカルセンサ 匂いセンサ・ガスセンサ
3月19日 午後 第D413会場
3-147- 濃縮管と電気化学式センサアレイを用いた口臭原因物質の識別
- ◎小林克広（東京工業大学）・伊藤淳二（東京医科歯科大学）・中本高道（東京工業大学）
3-148- 長時間測定用検知管アレイを使用した悪臭分布測定の研究
- ◎吉岡正浩・田中幸修・中本高道・森泉豊栄（東京工業大学）
3-149- 光学スキャナとガス検知管を組み合わせた悪臭センシングの研究
- ◎田中幸修・吉岡正浩・中本高道・森泉豊栄（東京工業大学）
3-150- CPUコアを搭載した匂い認識チップの研究
- ◎小原秀一郎・柴田佳彦・中本高道（東京工業大学）
3-151- インクジェット型匂い発生装置を用いた匂いの記録・再生システムの研究
- ◎瀧川英彦・山中高夫・中本高道（東京工業大学）
3-152- 視覚と嗅覚を融合した匂い・ガス源探知ロボットの研究
- ◎田中秀直・谷口治輝・石田 寛・森泉豊栄（東京工業大学）
3-153- 飛行船ロボットによる三次元ガスプルーム追跡
- シュミンギ・◎石田 寛・森泉豊栄（東京工業大学）
3-154- 大気環境センサネットワークの自動較正に関する研究
- ◎辻田 亘・吉野哲人・石田 寛・森泉豊榮（東京工業大学）
3-155- 環境モニタリングの為の高感度NO2センサーの開発
- ◎史 麗琴・長谷川有貴・勝部昭明（埼玉大学）・中野 守・中村清純（ウチヤ・サーモスタット）
3-156- ニューラルネットワークの入力要素に回帰係数を用いたガス種判別方法
- ○中島 隆（日本大学）
D413-C4 ケミカルセンサ バイオセンサ・味センサ・μTAS
3月19日 午後 第D413会場
3-157- 薄膜イオン電極を用いた集積化味覚センサ
- ○木藤了精・周 蕊・長谷川有貴・勝部昭明（埼玉大学）・成 烈完・伊藤由喜男（濱野生命科学研究財団）
3-158- 味センサによる食塩の味の定量評価
- ○江崎 秀・小田原智人・飯山 悟（近畿大学）・都甲 潔（九州大学）
3-159- 電気化学的サンプリングモジュールとその微小センシングシステムへの応用
- ◎小島慎平・鈴木博章（筑波大学）
3-160- PDMS無動力マイクロ流体デバイス
- ○細川和生・佐藤香枝・前田瑞夫（理化学研究所）
3-161- 細胞の捕獲とエレクトロポレーションのためのマイクロシステムの研究
- ○田 宗勲・ティクシエー三田アニエス・藤田博之（東京大学）